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硅片研磨后的研磨液如何維護(hù)保養(yǎng)

發(fā)布:admin 時(shí)間:2024-04-23

在集成電路封裝制作過程中會(huì)對(duì)硅片晶片進(jìn)行切割和研磨,并且會(huì)運(yùn)用超純水進(jìn)行洗凈,這樣就產(chǎn)生了的切割研磨廢水。目前

國(guó)內(nèi)很多的廠家離心過濾方法處理的,剩余研磨液同時(shí)延長(zhǎng)一定的使用壽命。包含如下步驟:


(1)通過搜集箱搜集硅片研磨后的研磨液;


(2)應(yīng)用水泵將研磨液泵入全自動(dòng)排渣盡力進(jìn)行離心過濾;


(3)過濾后的研磨液回到水池循環(huán)往復(fù);


(4)離心產(chǎn)生的硅粉自動(dòng)結(jié)塊附著在離心機(jī)內(nèi),通過排渣裝置自動(dòng)排出;



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